光学3d轮廓仪-快速尺寸测量仪器-在机测量系统-深圳市中图仪器股份有限公司

VT6000系列激光共聚焦显微镜结合精密Z向扫描?？椤?D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测，对大坡度的产品有更好的成像效果，在满足精度的情况下使用场景更具有兼容性。

VT6000中图共聚焦显微镜以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法，共同组成测量系统，在相同物镜放大的条件下，所展示的图像形态细节更清晰更微细，横向分辨率更高。能够清晰地展示微小物体的图像形态细节，显示出精细的细节图像。它具有直观测量的特点，能够有效提高工作效率，更加快捷准确地完成日常任务。

VT6000系列激光共聚焦3D图像显微镜具有优异的光学分辨率，通过清晰的成像系统能够细致观察到晶圆表面的特征情况?；箍晒惴河τ糜诎氲继逯圃旒胺庾肮ひ占觳?、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

共聚焦显微镜工业测量仪具备一体化操作的测量与分析软件，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能。设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

VT6000系列共聚焦成像显微镜系统集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前工作?？啥愿髦植贰⒉考筒牧媳砻娴拿嫘温掷⒈砻嫒毕?、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

共聚焦显微镜利用照明点与探测点共轭特性，可有效抑制同一焦点平面上非测量点的杂散荧光及来自样品中非焦平面的荧光，从而获得普通光镜无法达到的分辨率。VT6000激光共聚焦扫描显微镜对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

中图仪器VT6000系列3d成像共聚焦测量显微镜在材料生产检测领域中，在陶瓷、金属、半导体、芯片等材料科学及生产检测领域中也具有广泛的应用。例如，钢的铸造组织一般比较粗大，可直接用共聚焦显微镜进行观察，同时可以利用其模拟微合金钢在不同冷却工艺下的凝固以及奥氏体不锈钢的敏化过程，原位观察过程中样品表面的变化及与第二相析出情况。

VT6000系列光学纳米共聚焦显微镜利用照明点与探测点共轭特性，可有效抑制同一焦点平面上非测量点的杂散荧光及来自样品中非焦平面的荧光，从而获得普通光镜无法达到的分辨率。在相同物镜放大的条件下，共焦显微镜所展示的图像形态细节更清晰更微细，横向分辨率更高。