光学3d轮廓仪-快速尺寸测量仪器-在机测量系统-深圳市中图仪器股份有限公司

VT6000激光共聚焦显微镜检测设备的测量方式是非接触式，不会破坏样品的表面，不需要在真空环境下测量，也可以用显微镜测量的功能来观测样本，其在严酷的工作环境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在测量渐变较大的高度时，跟其他方法相比，可以更准确量测物体高度，建立3D立体影像。

中图仪器VT6000系列激光扫描共聚焦显微镜?在材料生产领域中，是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的光学检测仪器。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

中图仪器激光扫描共聚焦显微镜技术集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前工作。结合精密Z向扫描?？椤?D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。

以共聚焦技术为原理的VT6000光学共聚焦扫描显微镜，是用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。仪器基于共聚焦显微技术，结合精密Z向扫描?？椤?D 建模算法等，可以对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，实现器件表面形貌3D测量。

中图仪器VT6000共聚焦激光扫描显微镜主要采用3D捕获的成像技术，通过数码相机针孔的高强度激光来实现数字成像，具有很强的纵向深度的分辨能力；以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法，共同组成测量系统。能测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。

中图仪器VT6000系列共聚焦显微镜擅长微纳级粗糙轮廓的检测，所展现的放大图像细节要高于常规的光学显微镜。它是以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。