光学3d轮廓仪-快速尺寸测量仪器-在机测量系统-深圳市中图仪器股份有限公司

NS系列纳米级表面测量台阶仪是一种接触式表面形貌测量仪器，可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。

VT6000材料检测共聚焦显微镜3D成像一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。

SuperViewW白光干涉非接触式轮廓仪是利用光学干涉原理研制开发的超精细表面轮廓测量仪器。它以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描?？?、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像。

Nano Step系列晶圆探针式轮廓仪台阶仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。

SuperViewW纳米白光干涉仪微尺寸检测仪基于白光干涉原理，结合精密Z向扫描?？?、3D 建模算法等，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括表面形貌和几何特征。

VT6000材料检测3D成像共聚焦显微镜基于光学共轭共焦原理，用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量，可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。

SuperViewW白光干涉轮廓形貌粗糙度测量仪复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。

中图仪器NS系列柔性电子器件薄膜测量台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。