光学3d轮廓仪-快速尺寸测量仪器-在机测量系统-深圳市中图仪器股份有限公司

SuperViewW白光干涉微观形貌及粗糙度仪测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。

NS系列薄膜台阶测量仪利用光学干涉原理，通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度，此外还可以用于表面粗糙度等微观形貌参数的测量，具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。

VT6000材料光学共聚焦显微镜以共聚焦技术为原理，结合精密纵向扫描，以在样品表面进行快速点扫描并逐层获取不同高度处清晰焦点并重建出3D真彩图像，从而进行分析。

SuperViewW白光干涉仪三维表面测量系统让轮廓测量价格更为实惠。应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。

VT6000材料性能表征共聚焦测量显微镜基于光学共轭共焦原理，以转盘共聚焦光学系统为基础，结合精密纵向扫描，以在样品表面进行快速点扫描并逐层获取不同高度处清晰焦点并重建出3D真彩图像.

NS200探针纳米级表面测量台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。

SuperViewW白光干涉微观形貌测量仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

VT6000共聚焦微观形貌分析测量显微镜一般用于材料生产检测领域略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。主要应用于半导体、光学膜材、显示行业、超精密加工等诸多领域中的微观形貌和轮廓尺寸检测中，其次是对表面粗糙度、面积、体积等参数的检测中。