光学3d轮廓仪-快速尺寸测量仪器-在机测量系统-深圳市中图仪器股份有限公司

SuperViewW1白光测量光学干涉仪用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中，对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量?？梢圆饬靠刹飧骼啻映饣酱植?、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

以共聚焦技术为原理的VT6000光学共聚焦扫描显微镜，是用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。仪器基于共聚焦显微技术，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等，可以对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，实现器件表面形貌3D测量。

SuperViewW1白光干涉显微轮廓仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；以白光干涉技术为原理，可对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，从而实现器件表面形貌3D测量。能对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

中图仪器VT6000共聚焦激光扫描显微镜主要采用3D捕获的成像技术，通过数码相机针孔的高强度激光来实现数字成像，具有很强的纵向深度的分辨能力；以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法，共同组成测量系统。能测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。

中图仪器NS200国产台阶仪采用接触式表面形貌测量，对测量表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求，样品适应面广，数据复现性高、测量稳定、便捷、高效，是微观表面测量中使用广泛的微纳样品测量手段。

中图仪器VT6000系列共聚焦显微镜擅长微纳级粗糙轮廓的检测，所展现的放大图像细节要高于常规的光学显微镜。它是以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

SuperViewW1白光干涉仪粗糙度仪用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量?？啥愿髦植?、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

SuperViewW1白光干涉仪检测设备以白光干涉技术为原理，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。