光学3d轮廓仪-快速尺寸测量仪器-在机测量系统-深圳市中图仪器股份有限公司

VT6000材料共聚焦显微镜可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中?？刹飧骼喟ù庸饣酱植凇⒌头瓷渎实礁叻瓷渎实奈锾灞砻?，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

VT6000激光共聚焦光学显微镜以共聚焦技术为原理，主要用于测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。结合精密Z向扫描?？?、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。

VT6000国产共聚焦显微镜基于激光共聚焦显微技术，结合精密Z向扫描?？?、3D 建模算法等，可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，实现器件表面形貌3D测量。

VT6000国产共聚焦显微镜品牌主要测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。擅长微纳级粗糙轮廓的检测，所展示的图像形态细节更清晰更微细?？晒惴河τ糜诎氲继逯圃旒胺庾肮ひ占觳?、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等工业材料领域中。

VT6000激光共聚焦显微镜检测设备的测量方式是非接触式，不会破坏样品的表面，不需要在真空环境下测量，也可以用显微镜测量的功能来观测样本，其在严酷的工作环境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在测量渐变较大的高度时，跟其他方法相比，可以更准确量测物体高度，建立3D立体影像。

中图仪器VT6000系列激光扫描共聚焦显微镜?在材料生产领域中，是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的光学检测仪器。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

SuperViewW1光学3D白光干涉仪?分辨率0.1μm，重复性0.1%，可为样品表面测量提供快速，便捷的非接触式3D表面形貌测量解决方案。应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数?？梢杂糜诓馐愿骼啾砻妗１热缤该鞯牟ＡП砻?，加上增透膜，其反射率小于1%；也可以用于测试直至100%反射率的各类高反表面。

中图仪器激光扫描共聚焦显微镜技术集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前工作。结合精密Z向扫描?？?、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。