光学3d轮廓仪-快速尺寸测量仪器-在机测量系统-深圳市中图仪器股份有限公司

中图仪器SuperViewW1白光干涉显微镜也叫光学轮廓仪、光学3D表面轮廓仪、非接触式粗糙度轮廓仪等，仪器分辨率0.1μm，重复性0.1%，可为样品表面测量提供快速，便捷的非接触式3D表面形貌测量解决方案。

VT6000系列激光共聚焦3D图像显微镜具有优异的光学分辨率，通过清晰的成像系统能够细致观察到晶圆表面的特征情况?；箍晒惴河τ糜诎氲继逯圃旒胺庾肮ひ占觳狻?C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

SuperViewW1高精度白光干涉仪对各种精密器件表面进行纳米级测量，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。

共聚焦显微镜工业测量仪具备一体化操作的测量与分析软件，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能。设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

SuperViewW1白光干涉测厚仪是以白光干涉技术原理，对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。

VT6000系列共聚焦成像显微镜系统集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前工作。可对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

共聚焦显微镜利用照明点与探测点共轭特性，可有效抑制同一焦点平面上非测量点的杂散荧光及来自样品中非焦平面的荧光，从而获得普通光镜无法达到的分辨率。VT6000激光共聚焦扫描显微镜对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

中图仪器SuperViewW1白光干涉仪性能参数Z向分辨率：0.1nm；Z向扫描范围：10.3mm；XY水平位移台：电动手动均可调节。有自动化功能：自动单区域测量、自动多区域测量、多区域定位自动搜索测量、自动拼接测量；防撞?；ぃ喝砑柚梅雷病⒂布衅鞣雷?。