光学3d轮廓仪-快速尺寸测量仪器-在机测量系统-深圳市中图仪器股份有限公司

?VT6000系列转盘共聚焦光学显微镜擅长微纳级粗糙轮廓的检测，能够清晰地展示微小物体的图像形态细节，显示出精细的细节图像，以提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。它具有直观测量的特点，能够有效提高工作效率，更加快捷准确地完成日常任务。借助共聚焦显微镜，能有效提高工作效率，实现更准确的操作。

CHOTEST中图仪器SuperViewW1白光干涉三维轮廓仪通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，是一款对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。

VT6000系列3d共聚焦显微镜能够清晰地展示微小物体的图像形态细节，显示出精细的细节图像。它具有直观测量的特点，能够有效提高工作效率，更加快捷准确地完成日常任务。借助共聚焦显微镜，能有效提高工作效率，实现更准确的操作。

除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，SuperViewW1白光干涉仪品牌具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。

自设计之初，VT6000共聚焦激光显微镜便定下了“简单好用”四字方针的目标。仪器整体由一台轻量化的设备主机和电脑构成，控制单元集成在设备主机之内，亦可采用笔记本电脑驱动，实现了“拎着走”的便携式设计。

中图白光干涉仪SuperViewW1利用光学干涉原理，能够以优于纳米级的分辨率，非接触测量样品表面形貌，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等等领域，用于表面形貌纹理，微观结构分析。测量单个精细器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。

VT6000系列激光共聚焦显微镜结合精密Z向扫描?？?、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测，对大坡度的产品有更好的成像效果，在满足精度的情况下使用场景更具有兼容性。

VT6000中图共聚焦显微镜以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法，共同组成测量系统，在相同物镜放大的条件下，所展示的图像形态细节更清晰更微细，横向分辨率更高。能够清晰地展示微小物体的图像形态细节，显示出精细的细节图像。它具有直观测量的特点，能够有效提高工作效率，更加快捷准确地完成日常任务。