激光干涉仪是利用激光作为长度基准，对数控设备（加工中心、三座标测量机等）的位置精度（定位精度、重复定位精度等）、几何精度（俯仰扭摆角度、直线度、垂直度等）进行精密测量的精密测量仪器。

　　应用：

　　1、激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具，可按照规定标准处理测量数据并输出误差曲线，为数控机床的误差修正提供可靠依据，现场使用尤为方便。

　　2、激光干涉仪配有各种附件，可测量小角度、平面度、直线度、平行度、垂直度等形位误差。

　　3、激光干涉仪也是一种高精度位移传感器，可直接用于高精度、大尺寸的动态位移测量系统。

　　4、激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量元件的检测和刻划功能，可按预定的间距自动完成检测和刻划定位。